在半導體的生產過程中對于工藝制造環境要求嚴苛，任何微小的雜質，都可能引發生產故障，嚴重損害產品質量，特別是氣態分子污染物(AMC)。因此，對氣態分子污染物(AMC)在線監測，成為了半導體行業生產過程必不可少的一環。

但是，傳統的分析方法往往需要非常耗時的采樣和樣品制備等過程，根本無法在短時間內提供結果，也就導致半導體工廠并不能及時有效進行干預。

所以具有超高靈敏度的億天凈化AMC化學污染物在線監測系統，方能適用于半導體行業。

01.什么是AMC化學污染物在線監測系統

系統可對潔凈區域中的環境進行AMC監測，AMC監測器型號:ESKY-OGSMART，配合信號控制箱，監測服務器電腦，軟件，多路采樣器以及根據廠房的實際情況配全相應的數據線電源線等輔材，可實現環境中的AMC實時監測顯示、存儲、歷史查看、圖表分析等功能。

02.AMC化學污染物在線監測系統特點優勢

·通過ESKY-OGSMART 監測儀器對 AMC 腐蝕速度監測建立預警系統；

·通過采樣分析，定制化學過濾器，通過再循環空氣系統控制 AMC，變害為利；

·提供實時在線歷史數據查看和數據圖標趨勢分析；

·集成液晶顯示界面快速反饋和數據檢索;

·遠程控制，支持 TCP/IP 以及485 連接到現有上位機。

03.AMC化學污染物在線監測系統功能

AMC化學污染物在線監測系統會對潔凈室內部分區域AMC含量濃度等環境參數進行實時監測，實時掌握空氣潔凈度的變化趨勢，以及任何一次超出控制的異常情況，才能讓污染物在對工藝、產品可能產生不良影響之前就采取措施，清除可能的不良作業、污染源和污染事件。