作為數(shù)字科技浪潮的核心支撐產(chǎn)業(yè)之一，全球半導體行業(yè)正經(jīng)歷飛速發(fā)展，芯片線寬發(fā)展至納米(nm)級別，但半導體制程復雜，對氣態(tài)分子污染物(AMC)敏感的區(qū)域比較多，而AMC會危害生產(chǎn)工藝關(guān)鍵環(huán)節(jié)，造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低，因此，AMC的控制技術(shù)已經(jīng)成為半導體良率提升的必要手段。

億天凈化深耕布局半導體賽道多年，可向半導體行業(yè)客戶提供電子半導體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案，助力打造精準化、低能耗的半導體潔凈室，以滿足行業(yè)對技術(shù)革新的需求，不斷提高產(chǎn)品良率。

電子半導體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測系統(tǒng)

在AMC的控制中，首要步驟是通過檢測分析識別污染物來源，制定針對性管控措施。同時在新風、循環(huán)風以及機臺區(qū)域考慮安裝合適的過濾器來保護生產(chǎn)環(huán)境。對于潔凈室內(nèi)部分區(qū)域AMC含量的異常波動，需要運用在線監(jiān)測的數(shù)據(jù)去系統(tǒng)分析任何一次超出控制的異常情況，找到引起波動的真實原因，進而找到有效的處理方法。

ESKY--過濾器產(chǎn)品系列

億天凈化在電子半導體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案中提供包括空氣質(zhì)量檢測、控制和監(jiān)測等服務(wù)，內(nèi)含化學過濾器、粉塵過濾器、AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)、電子半導體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測系統(tǒng)、微粒子可視化系統(tǒng)、粒子計數(shù)器、AMC檢測柜、智能FFU等，高效節(jié)能降耗，為電子半導體生產(chǎn)提供全方位的潔凈、節(jié)能的空氣解決方案。

智能FFU節(jié)能控制系統(tǒng)

可以針對客戶對空氣潔凈度的不同需求，通過采樣、現(xiàn)場勘測、技術(shù)診斷，評估潔凈室內(nèi)、外部空氣質(zhì)量，確認氣態(tài)分子污染物（AMC）主要成分及濃度，幫助客戶量身定制最匹配實際環(huán)境需求的解決方案，為用戶提供管理潔凈室的新模式，實現(xiàn)節(jié)能降耗和智慧潔凈。